如何管理1000个DTF

  1. DTF(Dose Trim Factor) be used for dose rectification widely剂量修整因子应用于:
    1. Rectifies and modulates dosimetry diversity which essentially different with others (for specie or for energy…) 统一一些设定剂量相同但植入元素或者轰击能量不同，而造成的原生的剂量差异
    2. A compensating method to benchmark machines in an integrated group to simplify the recipe management globally 在不同机器之间对性能差异造成的偏差进行补偿，从而将其编组，方便实行组内统一化管理
    3. Corresponding to the certain Pcomp% in recipe level to fine tune implant dose 和对应的仓压修正值一同作用，实时调整植入剂量，以期让仓压修正过后的植入更加趋近于理论值
  2. What dose it makes a big problem when handling 1000 DTFs global ?为何全局化的管理1000个DTF很麻烦？
    1. Existing recipes holding their owner DTF as their owner target of dose 每个recipe都有自己独特的剂量，这种剂量是Dose和TF的乘积，事后很难单纯地将TF抽离出来管理
    2. Single recipe already be rectified by maybe different TF in different tool mistakenly ,in some case ,which quite difficult to redefine the correct TF for those tool ,as no traceabilty for tool problem ,and more worse case is ,“currently how many TF were mis-defined” is unknown,some sensitive recipes already be correct back but some non-sensitive recipe still in a wrong TF.it’s confusing.单独的recipe有可能在存在不同的TF，有些是因为当时machine有问题，在不得已或者不明真相的情况下使用了一个有误差的TF，之后有些recipe因为较为敏感出问题后被修正了，然而有些recipe对于剂量并不敏感，这也就造成这些TF存在下去，于是对于同一剂量往往有多个TF，这样很难简单的找出对的TF
  3. How to manage total one thousand DTFs如何正确管理1000个DTF?
    1. sort those DTF based on 分而治之
      • Necessary 需要独特的DTF的，例如要和Pcomp一起使用
      • Non necessary 不太需要DTF的 对于dose不是很敏感（一般是超高剂量的）
      • No / Forbidden 禁止使用独特的DTF，只能用统一的DTF（大部分recipe被要求如此）
    2. Establish DTF traceability system DTF的可追溯性，衍生的可控性
      • Golden tool (tool type) 完美机体制度
      • “Mother fab” dope wafer Rs verification 需要从母厂寄送样品，随制程一起送至子厂验证DTF矫正结果
      • Legacy DTF localization 二期DTF本土化转移流程
        Retrieve all DTF’s changing/control right from device and release dose changing or control right to third party 收回DTF管理权，引导外界接受正规的Dose变更流程
      • Group control on DTF 在误差可接受范围内简化并集中管理DTF，相同误差范围的放入同一个DTF组